材料表面雾的检测方法和装置

基本信息

申请号 CN202110706036.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113503840A 公开(公告)日 2021-10-15
申请公布号 CN113503840A 申请公布日 2021-10-15
分类号 G01B11/30(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 高伟;刘宇;王志珍;李海淼 申请(专利权)人 北京通美晶体技术股份有限公司
代理机构 北京北翔知识产权代理有限公司 代理人 钟守期;李慧
地址 101113北京市通州区工业开发区东二街四号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种检测材料表面雾的方法,包括以下步骤:任选地初检:对材料进行初检,获得表面无目视可见缺陷的材料;和表面雾检测:检测材料的表面雾;其中,在表面雾检测设备中,在接收光路中通过光学过滤器模组过滤掉所述材料的光致发光信号,使其不被探测器检测到。本发明还提供一种检测材料表面雾装置。本发明的检测表面雾的方法和装置,过滤掉了不期望的材料光致发光信号,从而能够更准确地获得材料表面雾检测结果。