一种晶片的原子台阶的宽度计算装置、方法、设备及介质
基本信息
| 申请号 | CN202110896139.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113594057A | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN113594057A | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张九阳;舒天宇;卢仁贵;王永方;李霞;张红岩;高超;梁云硕;张禹亮 | 申请（专利权）人 | 上海天岳半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 董延丽 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本说明书实施例公开了一种晶片的原子台阶的宽度计算装置、方法、设备及介质，装置包括：图像获取单元，用于在原子台阶均匀平行分布的区域内，确定晶片的测试范围，获取测试范围内的晶片对应的原子台阶原始图像；图像处理单元，用于对原子台阶原始图像进行灰度处理，确定原子台阶灰度图像，并根据预设方式以及原子台阶灰度图像，确定出符合要求的波形图；计算单元，用于根据符合要求的波形图中的波峰之间或波谷之间的距离与原子台阶灰度图像的尺寸，计算原子台阶的宽度，节省了人工测算的人力、物力，避免了人工计算宽度产生的测量误差，可以通过程序实现，节约计算时间，不会引入人工测算主观误差。 |
