一种长晶炉用升降系统
基本信息
| 申请号 | CN202120741651.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215593246U | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN215593246U | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | C30B29/36（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 刘丙洋;杨振鲁;袁祥瑞;张开端;阴法波 | 申请（专利权）人 | 上海天岳半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冯委 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种长晶炉用升降系统，所述升降系统包括升降执行装置和升降台，所述升降台与所述升降执行装置传动设置，所述升降台受所述升降执行装置驱动，在所述升降执行装置的驱动下使所述升降台按设定路径执行升降动作；所述升降系统还包括锁止单元，当所述升降台的运动速率大于设定的速度时，所述锁止单元将所述升降台锁止于所述升降执行装置上。本申请所公开长晶炉用升降系统具有发生故障时将所述升降台进行锁止功能，具有安全、可靠、自动化程度高等优点。 |
