一种长晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202120743599.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214881936U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214881936U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 刘丙洋;史建伟;马振华;张开端;阴法波 | 申请（专利权）人 | 上海天岳半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冯委 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种长晶炉，包括冷却管，冷却管包括冷却介质容腔；冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与冷却介质入口流路连通设置，冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通设置；长晶炉还包括辅助冷却系统和电控系统，辅助冷却系统的介质出口与冷却介质入口流路连通设置，冷却介质出口与辅助冷却系统的介质入口流路连通设置；辅助冷却系统受电控系统控制，当主冷却介质供入通道和/或主冷却介质排出通道的介质流动异常时，辅助冷却系统对冷却介质容腔提供冷却介质。本申请所公开的所述长晶炉具有冷却可靠、使用安全、便于维护、自动化程度高等优点。 |
