一种多功能超声清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202120843238.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214865742U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214865742U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;B24B13/00（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吴殿瑞;向远旺;裴卫博;刘浩 | 申请（专利权）人 | 上海天岳半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京君慧知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 冯妙娜 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种多功能超声清洗装置，其包括壳体、超声发生器；所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽，所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置，所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧，所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面，所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧，所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面；所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。本申请通过设置喷淋装置向待清洗件A表面喷淋清洗剂，再通过设置打磨装置打磨待清洗件A的表面，最后超声清洗，使得待清洗件A表面的结晶能够被完全去除，不会影响后续的长晶过程；该装置清洁效果好，节省了人力投入，工作效率高。 |
