一种刻蚀机
基本信息
| 申请号 | CN201720974686.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207097848U | 公开（公告）日 | 2018-03-13 |
| 申请公布号 | CN207097848U | 申请公布日 | 2018-03-13 |
| 分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 崔红星 | 申请（专利权）人 | 九江盛朝欣业科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京纽乐康知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王珂 |
| 地址 | 332000 江西省九江市经济开发区城西港区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种刻蚀机，包括机架，所述机架内设有若干传送滚轴，所述机架中部设有隔板，所述隔板将所述机架分隔为水膜喷洒槽和刻蚀槽，所述水膜喷洒槽的上方从左至右依次设有喷水机构、喷气机构和水膜吸收滚轮。本实用新型的有益效果：通过设置喷水机构、喷气机构和水膜吸收滚轮，使得硅片上形成的水膜均匀而平整，从而使得刻蚀效果提高，进而达到提高产品质量的技术效果。 |
