一种扩散炉
基本信息
| 申请号 | CN201720976205.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207193438U | 公开（公告）日 | 2018-04-06 |
| 申请公布号 | CN207193438U | 申请公布日 | 2018-04-06 |
| 分类号 | C30B31/06;H01L31/18 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 崔红星 | 申请（专利权）人 | 九江盛朝欣业科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京纽乐康知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王珂 |
| 地址 | 332000 江西省九江市经济开发区城西港区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散炉，包括炉体，所述炉体的炉口下方设有用于接住炉口流出的偏磷酸的托盘，所述炉体内设有钩子；所述炉体的尾部中间连接有进气管，所述进气管的外端设置有进气管球头，所述炉体的尾部下方设置有排气管，所述排气管的外端设有排气管球头，所述排气管内靠近炉体处设有温度传感器，所述的温度传感器与外部的显示器连接。本实用新型通过设置钩子可以刮出炉体内的偏磷酸，减少其对炉体内部的腐蚀；另外，本实用新型的进气管设置在炉体尾部中部，因此偏磷酸并不会腐蚀进气管，能够提高扩散炉的使用寿命。 |
