一种复合材料原子层淀积反应器
基本信息
| 申请号 | CN200920077298.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201459237U | 公开（公告）日 | 2010-05-12 |
| 申请公布号 | CN201459237U | 申请公布日 | 2010-05-12 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王季陶 | 申请（专利权）人 | 上海企诺电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200433 上海市国福路30弄5号502室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于高新技术领域，具体涉及一种复合材料的原子层淀积反应器。包括玻璃或不锈钢的反应外管，内部的若干玻璃和不锈钢混合组成或全不锈钢组成的固态源进气管，复合材料的气流控制毛细管等部件。过去反应管采用玻璃或石英制作，结构比较脆弱，本实用新型采用复合材料的优点是：易损部件用不锈钢材料后，坚固耐用，而且精度高。特别是固态源进气管结构细长脆弱，采用玻璃或石英制作极易损坏。本实用新型采用不锈钢材料制作固态源进气管后效果非常显著；复合材料的气流控制毛细管采用不锈钢毛细管和外层的聚四氟乙烯等塑料组成，气流控制精度非常高，无对外泄漏，坚固耐用。 |
