一种紫外滚轮式纳米压印装置

基本信息

申请号 CN201621039209.X 申请日 -
公开(公告)号 CN206051542U 公开(公告)日 2017-03-29
申请公布号 CN206051542U 申请公布日 2017-03-29
分类号 B81C3/00 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 不公告发明人 申请(专利权)人 浙江优众新材料科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 210028 江苏省南京市栖霞区和燕路371号东南大学国家大学科技园科创楼C405
法律状态 -

摘要

摘要 一种紫外滚轮式纳米压印装置,属于微纳制造和器件制造技术领域。包括设备密封罩、用于将软模板均匀压印于衬底模板上的压印滚轮、用于将软模板均匀缠绕的送料滚轮、软模板夹具、用于调节压印滚轮与软模板间压力的伸缩杆、用于压印结束时切断软模板的刀片以及提供固化所需紫外光线的紫外灯,本实用新型提供的一种紫外滚轮式纳米压印装置,通过显示控制箱驱动送料滚轮与压印滚轮由左至右匀速运动,将软模板均匀压印在衬底模板上,压印滚轮运动过程结束后,紫外灯自动开启,光照一段时间固化后,将软模板切断,即可取出衬底模板,完成了本次滚轮式压印。