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一种干式刻蚀机的晶片托盘

基本信息

申请号 CN201620502805.0 申请日 -
公开（公告）号 CN205789912U 公开（公告）日 2016-12-07
申请公布号 CN205789912U 申请公布日 2016-12-07
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 竺平军 申请（专利权）人 浙江优众新材料科技有限公司
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 汤东凤
地址 316000 浙江省舟山市定海区岑港街道坞坵社区丰园路15号
法律状态 -

摘要

摘要 一种干式刻蚀机的晶片托盘，属于刻蚀机技术领域，包括第二滑轨、控制器、支杆、第二滑块、第三气缸、夹槽、第一滑轨、第一气缸、第二气缸、第一滑块、第一夹板、氦气供给管、卡槽、底台、第一抵板、第二抵板、第二夹板和第四气缸，所述底台上安装卡槽，底台和卡槽上均安装氦气供给管，卡槽左右两侧各安装夹槽，夹槽内安装第一滑轨，第一滑轨上安装第一滑块，第一滑块右侧安装第一夹板，第二气缸安装在卡槽内，第二气缸的活塞杆与第一夹板相连，卡槽内安装第一气缸，第一夹板设有第一小洞；本实用新型的优点是：能使气体顺利流动。