首页/ 浙江优众新材料科技有限公司/ 专利详情

一种半导体制造用的机械手臂

基本信息

申请号 CN202021289826.1 申请日 -
公开（公告）号 CN213054822U 公开（公告）日 2021-04-27
申请公布号 CN213054822U 申请公布日 2021-04-27
分类号 B25J9/02 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 王鑫 申请（专利权）人 浙江优众新材料科技有限公司
代理机构 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 王银炯
地址 316000 浙江省舟山市定海区定海工业园区创园大道10号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种半导体制造用的机械手臂，包括有底座和设在底座顶部的升降装置，升降装置滑动连接有夹持组件，夹持组件包括有安装板和第一丝杆，第一丝杆与安装板固定连接，第一丝杆连接有夹爪装置，每一夹爪装置包括有滑动板、夹爪和螺母，滑动板与安装板滑动连接，滑动板通过螺母与第一丝杆螺旋连接，滑动板设有第一电机，第一电机连接有主动齿轮，主动齿轮啮合连接有从动齿轮，从动齿轮与螺母固定连接；本实用新型由第一电机驱动主动齿轮和从动齿轮转动，使得螺母在丝杆外壁上下滑动，进而带动夹爪上下滑动，每一夹爪都由一个对应的第一电机驱动，使得各夹爪之间的间距可任意调节。