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抗高过载的压电加速度传感器及其制作方法

基本信息

申请号 CN201410534975.2 申请日 -
公开（公告）号 CN104280568A 公开（公告）日 2015-01-14
申请公布号 CN104280568A 申请公布日 2015-01-14
分类号 G01P15/09(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 李祥明;李忠平 申请（专利权）人 上海天英微系统科技有限公司
代理机构 上海翼胜专利商标事务所（普通合伙） 代理人 上海天英微系统科技有限公司
地址 200120 上海市浦东新区张江高科园区郭守敬路351号2号楼A635-15室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种抗高过载的压电加速度传感器及其制作方法，所述压电加速度传感器包括支撑层及压电层，所述压电层朝向所述支撑层的一侧制作沟槽，以形成朝向支撑层的支撑块及质量块，所述支撑块用于与所述支撑层连接，以将所述压电层固定，所述支撑块与所述质量块之间通过一悬臂梁连接，所述质量块将加速度信号传递给所述悬臂梁，以使所述悬臂梁产生形变，所述悬臂梁的上下两侧设置有上电极及下电极，以将所述悬臂梁形变产生的电信号传递给外部测量装置。本发明的优点在于，能够提高压电加速度传感器的抗高过载性能。