一种异质结太阳能电池降低串联电阻的方法

基本信息

申请号 CN201510872214.2 申请日 -
公开(公告)号 CN106816494A 公开(公告)日 2017-06-09
申请公布号 CN106816494A 申请公布日 2017-06-09
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/072(2012.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄辉明;罗骞;宋广华;陈文平;郭海龙;陈松洲;刘泉 申请(专利权)人 钧石(中国)能源有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鲤城区常泰街道仙塘社区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种异质结太阳能电池降低串联电阻的方法,包括步骤如下:在n型硅片一面沉积本征非晶硅层及n型非晶硅层,另一面沉积本征非晶硅层及p型非晶硅层;在非晶硅层表面沉积透明导电氧化物薄膜;在透明导电氧化物薄膜层表面形成金属栅线;其中,所述方法还包括在沉积非晶硅层的表面或透明导电氧化物薄膜表面进行等离子处理。本发明消除非晶硅层及透明导电氧化物薄膜层表面的吸附层或氧化层,降低界面势垒造成的接触电阻,从而提高电池的填充因子及转换效率,能够提升异质结太阳能产品的性能,降低单位生产成本。