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一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法

基本信息

申请号 CN201510731381.5 申请日 -
公开（公告）号 CN106653935B 公开（公告）日 2019-02-19
申请公布号 CN106653935B 申请公布日 2019-02-19
分类号 H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 尤宇文;宋广华 申请（专利权）人 钧石（中国）能源有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鲤城区常泰街道仙塘社区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法，包括：在n型硅衬底一面沉积本征非晶硅层及n型非晶硅层，另一面沉积本征非晶硅层及p型非晶硅层，并在n型非晶硅层和p型非晶硅层上沉积透明导电氧化物层，在所述透明导电氧化物层上沉积阻挡层；在所述阻挡层上沉积种子层；在种子层上覆光阻材料层，将光阻材料层经过曝光显影后形成金属栅线图案并暴露出种子层；所述锡层的保护方法还包括步骤：在暴露出的种子层表面制作导电栅线叠层和助焊层，然后在助焊层上制作一层保护层，最后将光阻材料层去除，再用化学腐蚀液去除其覆盖位置的种子层、阻挡层以及保护层暴露出电池表面和助焊层。