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MES生产系统的控制方法与设备

基本信息

申请号	CN201911407174.9	申请日	-
公开（公告）号	CN113126573A	公开（公告）日	2021-07-16
申请公布号	CN113126573A	申请公布日	2021-07-16
分类号	G05B19/418（2006.01）I	分类	控制；调节;
发明人	朱进义;杨勇;舒彦森;谭莉;梁军	申请（专利权）人	华润微电子（重庆）有限公司
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	陈珊珊
地址	401331重庆市沙坪坝区西永镇西永路367号四楼
法律状态	-

摘要

本发明提供MES生产系统的控制方法与设备。所述MES生产系统的控制方法包括：接收由移动设备发送的资料数据及与所述资料数据相关联的标识信息；将所述标识信息转换为MES生产系统格式的参数命令，并将所述资料数据转换为MES生产系统格式的各参数值；将所述参数命令及各所述参数值组合生成命令消息，并发送至所述MES生产系统的芯片过账模块、芯片分批模块、芯片合批模块或芯片资料收集模块，以控制所述MES生产系统对所述命令消息进行处理。本发明在不对现有MES生产系统架构做出改变的情况下，使得半导体后段区域的作业人员无需进入洁净室，通过智能手机、平板电脑等移动设备即可与MES生产系统进行交互，从而通过移动设备进行后段生产区域的移动作业。