首页/ 南通辰同智能科技有限公司/ 专利详情

一种用于芯片搬运的低惯量滑台模组

基本信息

申请号 CN202110252685.9 申请日 -
公开（公告）号 CN112951752A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112951752A 申请公布日 2021-06-11
分类号 H01L21/68;H01L21/677 分类 基本电气元件;
发明人 朱飞;许滨;吴海涛 申请（专利权）人 南通辰同智能科技有限公司
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 席卷
地址 226500 江苏省南通市如皋市如城街道惠政西路555号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于芯片搬运的低惯量滑台模组，其结构包括步进电机、滑槽以及滑块，滑块滑动设置在滑槽的内部，滑块上螺纹连接有丝杆，丝杆位于滑槽的内部且两端螺纹连接在滑槽的端部，步进电机的输出端和丝杆的一端固定连接且设置在滑槽的一端，丝杆上分布有若干节点槽，滑块上设有和丝杆螺纹连接的螺纹槽，节点槽上设有自由转动的转动件，转动件和螺纹槽的抵触面上始终存在嵌入螺纹槽内部螺纹的导向螺纹，本发明确保了模块芯片的运行移动具有更为稳定的速度以及较小的位移偏差，从而对后续模块芯片的定位放置起到有效的促进作用。