电磁透镜组中带电粒子束的控制方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201910339992.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111863572A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111863572A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | H01J37/141(2006.01)I;G05B13/04(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张劲;陈炯;夏世伟 | 申请（专利权）人 | 上海凯世通半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区牛顿路200号7号楼单元1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电磁透镜组中带电粒子束的控制方法及系统。所述控制方法包括：获取多组电磁透镜组的工作数据和多组粒子束的质量数据；基于多目标优化模型对多组工作数据和多组质量数据执行迭代优化，得到最优解集；所述多目标优化模型的决策变量包括：所述工作数据中的至少一个参数和/或所述质量数据中的至少一个参数；所述多目标优化模型的优化目标包括所述粒子束的运动参数；根据所述最优解集控制所述电磁透镜组。本发明通过调节透镜组的多个工作参数、粒子束的质量参数实现对带电粒子束的运动状态的控制，不依赖于电极的具体组态，适用于任意组态的电极的透镜组，普适性好，且能实现精准控制。 |
