离子束能量控制装置
基本信息
| 申请号 | CN201910340903.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111863576A | 公开（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申请公布号 | CN111863576A | 申请公布日 | 2020-10-30 |
| 分类号 | H01J37/304(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张劲;陈炯;夏世伟 | 申请（专利权）人 | 上海凯世通半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区牛顿路200号7号楼单元1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子束能量控制装置。其包括：入口端和出口端，所述入口端供离子束射入，所述出口端供离子束射出；若干电极对，每个电极对分别包括相对设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极均为棒状，所述第一电极和所述第二电极之间的空间供离子束通过；所述若干电极对中至少一电极对形成第一电极群，施加至所述第一电极群的电压使得离子束向第一方向偏转；所述若干电极对中至少一电极对形成第二电极群，施加至所述第二电极群的电压使得离子束向第二方向偏转，所述第二方向与所述第一方向反向。本发明的离子束能量控制装置在电极形状、电极布局、束流调节等方面均具有较多优点。 |
