离子源引出电极系统
基本信息
| 申请号 | CN202020259894.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211788911U | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN211788911U | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 洪俊华;陈炯 | 申请（专利权）人 | 上海凯世通半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海弼兴律师事务所 | 代理人 | 上海临港凯世通半导体有限公司;上海凯世通半导体股份有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号207室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电机组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第一地电极之间的电场为引出电场，所述引出电场用于控制等离子体引出界面的曲率和形状。引入另一个地电极作为屏蔽地电极，用于电场屏蔽隔离等离子体电极和抑制电极，稳定引出电场和电场透镜电场，控制等离子体引出界面曲率和形状，从而来控制束流的初始形状，由此得到理想的束流形态。 |
