太阳能电池上镀膜的硅片载板
基本信息
| 申请号 | CN202022778197.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214193440U | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN214193440U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 蔡新兴;孙铁囤;姚伟忠;杨宇城 | 申请（专利权）人 | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市英诺创信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李楠 |
| 地址 | 213000江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种太阳能电池上镀膜的硅片载板，包括石墨板和设置在石墨板顶部的载板，载板的顶部开设有用于放置硅片的第一凹槽，第一凹槽的槽底开设有贯通槽底上下端面的气孔；所述石墨板的顶部开设有第二凹槽，硅片的径向尺寸＞第二凹槽的径向尺寸＞气孔的径向尺寸，所述第二凹槽仅通过气孔与外部连通，通过本套装置，将带气孔的载板放置在设有第二凹槽的石墨板顶部，石墨板的第二凹槽内存在的空气不影响硅片真空吸附，同时在出料腔回气时粉尘完全接触该石墨板不会污染到现有载板。 |
