自动测方阻设备
基本信息
| 申请号 | CN201710994286.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107591342B | 公开（公告）日 | 2020-03-20 |
| 申请公布号 | CN107591342B | 申请公布日 | 2020-03-20 |
| 分类号 | H01L21/66 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 袁华斌 | 申请（专利权）人 | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市英诺创信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种自动测方阻设备，通过控制部分控制上料区将装满硅片的花篮输送至下片区，下片区将花篮内的硅片逐一卸下并输送至第一缓存区，第一缓存区将硅片输送至校正区，校正区将硅片校正后输送至测试区进行方阻测试，通过方阻测试完成的硅片被输送至第二缓存区，通过控制部分控制，跟设定标准对比后通过分片区分片后，将超过设定标准上限和超过设定标准下限的硅片分出，仅将方阻测试结果在正常范围内的硅片输送至上片区，并通过上片区将硅片放置在花篮上，最终将装满硅片的花篮通过下料区输送出去；有效避免了人工取片与测片带来的污染、破片与划伤的问题；自动化测试硅片方阻，大大提高了测试效率，可完成批量检测。 |
