高效电池退火工艺
基本信息
| 申请号 | CN201810622327.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108878289B | 公开（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申请公布号 | CN108878289B | 申请公布日 | 2021-09-14 |
| 分类号 | H01L21/324;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 袁华斌;王晨;符亮;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请（专利权）人 | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市英诺创信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱丽莎 |
| 地址 | 213000 江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种高效电池退火工艺，通过对背钝化后的硅片进行升温烘干，通过负压通气，在步骤4)至6)中一直保持负压状态，将水汽彻底去除干净；通过梯度降温的方式，能够将硅片体内的杂质更充分地析出，减少缺陷与复合；本发明和不使用退火工艺对比，硅片背面无水汽残留，开压平均提高了11mV,电流平均提高了42mA，转换效率提高了0.55％。 |
