一种光刻机的自动上板装置
基本信息
| 申请号 | CN201822027520.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209044304U | 公开（公告）日 | 2019-06-28 |
| 申请公布号 | CN209044304U | 申请公布日 | 2019-06-28 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明; 邓超略; 黄文斌; 高尊虎 | 申请（专利权）人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道航城大道固戍工业区华创达科技园C座1楼西1区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种光刻机的自动上板装置，能降低操作人员劳动强度，自动上板，提高工作效率，降低废板率，包括取料机构、传送带、放料架、吸附机构和两纠正组件，所述取料机构设于放料架和传送带之间，所述取料机构与吸附机构驱动连接，所述取料机构带动吸附机构在放料架和传送带上方往复移动，所述两纠正组件设于传送带远离放料架的一端的上方，所述纠正组件包括驱动装置和纠正柱，所述两纠正柱相互平齐，所述驱动装置设置在传送带上方，所述驱动装置和纠正柱驱动连接，并带动纠正柱向下移动设于传送带表面或带动纠正柱向上移动设于传送带上方。 |
