一种光刻机的刻板离心真空吸附装置
基本信息
| 申请号 | CN201821740488.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208796022U | 公开（公告）日 | 2019-04-26 |
| 申请公布号 | CN208796022U | 申请公布日 | 2019-04-26 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明; 郑天祥; 黄文斌; 邓超略; 高尊虎 | 申请（专利权）人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道航城大道固戍工业区华创达科技园C座1楼西1区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种光刻机的刻板离心真空吸附装置，包括滚筒，所述滚筒的中心轴线设有转轴，所述滚筒外表面设有气槽，还包括弹性气罩、固定杆、受力球，所述滚筒为中空结构，所述弹性气罩设于滚筒内部，且弹性气罩与转轴密封连接，所述固定杆穿过弹性气罩，且固定杆的一端与气槽固定连接，固定杆另一端与转轴固定连接，所述受力球滑动套设于固定杆表面并位于弹性气罩内，所述固定杆内设有气管且固定杆表面设有气孔，所述气孔位于弹性气罩内，所述气孔与气管连通，所述气管与气槽连通，所述气管的一端与气槽连通并通过气孔与气罩的内腔连通，结构简单，高效又节能，可有效降低使用成本。 |
