一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法
基本信息
| 申请号 | CN201811156719.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110967929A | 公开（公告）日 | 2020-04-07 |
| 申请公布号 | CN110967929A | 申请公布日 | 2020-04-07 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明;郑天祥;邓超略;高尊虎;黄文斌 | 申请（专利权）人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道航城大道固戍工业区华创达科技园C座1楼西1区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 在本发明提供一种光刻机光点错位扫描时序调整系统及其调整方法，MCU按每一条可编程延迟线所处的电路位置和通过的相应光点信号，可获取每一条可编程延迟线的延时需求；并下达对应的控制指令到每一条可编程延迟线，每一条可编程延迟线根据MCU的控制指令可以适时地改变延迟参数，既可满足光刻的逻辑时序要求，相对传统技术采用FPGA光点错位时序调整，本发明结构简便，操作简单而且成本更低。 |
