一种光刻机滚筒的智能配重调整系统
基本信息
| 申请号 | CN201811223352.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111077738A | 公开（公告）日 | 2020-04-28 |
| 申请公布号 | CN111077738A | 申请公布日 | 2020-04-28 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明;郑天祥;黄文斌;邓超略;高尊虎 | 申请（专利权）人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道航城大道固戍工业区华创达科技园C座1楼西1区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种光刻机滚筒的智能配重调整系统，通过在滑块内设PCB板、驱动组件，所述PCB板上设有MCU、振动传感器；当振动传感器检测到振动时，将振动信号传递给MCU，MCU经过处理，并控制驱动组件作出对应运动，在此过程中，振动传感器不停地把振动信号传递给MCU,MCU根据振动是增强还是减弱来确定滑块的行动方向，直到找到振动最弱的位置，这就是最佳配重位置，然后控制驱动组件停止，让滑块停留在这个位置，这就完成了滚筒配重的自动调节。相对于现技术，本申请中的滑块可以独立驱动，无需外力加入，随时随地实现配重调整，满足光刻机的实时配重调整需求，极大地提高了配重调整的准确性。 |
