一种光刻机的滚筒刻度编码系统
基本信息
| 申请号 | CN201821731960.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208796021U | 公开（公告）日 | 2019-04-26 |
| 申请公布号 | CN208796021U | 申请公布日 | 2019-04-26 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I; G01D5/353（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王泽明; 郑天祥; 黄文斌; 邓超略; 高尊虎 | 申请（专利权）人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市神州众达专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道航城大道固戍工业区华创达科技园C座1楼西1区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种光刻机的滚筒刻度编码系统，让滚筒直接承载刻度尺，并在刻度尺上设有若干个沿滚筒长度方向延伸的刻度线，用来替代绝对编码器光码盘上的刻线，如此刻线所在的空间比在光码盘上大的多了，因此可以轻松做出满足光刻机图像解析度的码盘来，而且滚筒也变成了绝对编码器的一部分，这个方案的实质就是把绝对编码器和滚筒做到一起，二者合二为一，满足光刻机的高解析度定位要求。同时每一条刻度线都设有若干个光点，同时利用若干个光点中反光点以及不反光点的排列顺序与刻度读取器的配合，可以构成一套反光编码，制造工艺容易成本低，充分利用了材料，降低了成本，并提高了性能。 |
