大斜切角异质衬底-氮化镓复合结构
基本信息
| 申请号 | CN202023214124.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213635904U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213635904U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01L21/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王国斌;王建峰;毕文刚;徐科 | 申请（专利权）人 | 江苏第三代半导体研究院有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 赵世发 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种大斜切角异质衬底‑氮化镓复合结构。所述大斜切角异质衬底‑氮化镓复合结构包括：大斜切角异质衬底以及设置在所述大斜切角异质衬底上的氮化镓缓冲层、二维氮化镓层、三维岛状氮化镓层和氮化镓材料层。本实用新型实施例提供的一种大斜切角异质衬底‑氮化镓复合结构的结构简单且生长工艺简单、生长条件易于调节，所述大斜切角异质衬底‑氮化镓复合结构的质量更好、表面平整度更高。 |
