一种高增益小孔径微通道板及其制备方法和应用
基本信息
申请号 | CN202210322433.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114709118A | 公开(公告)日 | 2022-07-05 |
申请公布号 | CN114709118A | 申请公布日 | 2022-07-05 |
分类号 | H01J9/12(2006.01)I;H01J43/24(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 王辰;刘辉;蔡华;薄铁柱;史小玄;刘畅;廉姣;马婧;李帅奇;吴茵 | 申请(专利权)人 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
代理机构 | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 100024北京市朝阳区管庄东里1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明是关于一种高增益小孔径微通道板及其制备方法和应用。所述方法包括:将玻璃管与玻璃棒嵌套形成管棒复合体,拉制为单丝;将单丝进行排列,捆绑,得到复丝棒;将复丝棒拉制为复丝;将复丝排列为坯板,经热熔压、切片、抛光,形成微通道板毛坯;将得到的微通道板毛坯清洗,烘干后涂敷惰性溶剂,常温固化;将得到的微通道板毛坯酸蚀,清洗,扩孔;将扩孔后的微通道板毛坯清洗、烘干,放入无水乙醇中超声清洗,得到扩孔后的微通道板;将扩孔后的微通道板进行酸蚀、氢还原和表面镀制电极后,得到所述高增益小孔径微通道板。本发明通过提高输入电子接收比例从而提高增益,且不会影响微通道板原有体电阻、固定图案噪声、发射点及暗电流等性能。 |
