垂直度检测装置及垂直度检测系统

基本信息

申请号 CN201820020765.5 申请日 -
公开(公告)号 CN207798027U 公开(公告)日 2018-08-31
申请公布号 CN207798027U 申请公布日 2018-08-31
分类号 G01B11/26;G01C15/12 分类 测量;测试;
发明人 于祥升 申请(专利权)人 青岛市高新区高创科技小额贷款有限公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 邓超
地址 266000 山东省青岛市城阳区夏庄街道华仙路南
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种垂直度检测装置及垂直度检测系统,涉及激光测量技术领域,该垂直度检测装置包括激光器、二维调整架、透明片和扩束镜,透明片的两个平行面的平行度小于设定阈值;激光器和扩束镜同轴设置,透明片设置于激光器和扩束镜之间;待测样品固定在二维调整架上,透明片的一个平行面与待测样品的检测面紧密接触;激光器发出的激光穿透透明片的两个平行面进入扩束镜,经扩束镜扩束放大后射出。本实用新型提供的垂直度检测装置及垂直度检测系统,可以简化操作过程,缩短检测时间,提高检测效率。