薄膜体声波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN201310726314.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104753493A | 公开（公告）日 | 2015-07-01 |
| 申请公布号 | CN104753493A | 申请公布日 | 2015-07-01 |
| 分类号 | H03H9/17(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 胡念楚;杨清华;周冲 | 申请（专利权）人 | 贵州汉天下科技（集团）有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 贵州中科汉天下电子有限公司;苏州汉天下电子有限公司 |
| 地址 | 556000 贵州省黔东南苗族侗族自治州凯里市经济开发区甘塘路2号中盛茗园B栋3单元4层402号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括：基底，该基底具有腔体结构；下电极层，该下电极层形成在所述基底之上并遮盖至少部分所述腔体结构；所述腔体结构与所述下电极层共同组成空腔；压电层，该压电层形成在所述下电极层之上；上电极层，该上电极层形成在所述压电层之上；导热介质层，该导热介质层覆盖所述基底的上表面，并与所述下电极层、所述压电层、所述上电极层三者中的至少一个形成接触。与传统的薄膜体声波谐振器相比，本发明所提供的薄膜体声波谐振器在不增加器件面积的前提下具有更优的功率承受能力。 |
