一种声波谐振器的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201510282093.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104917476A | 公开（公告）日 | 2015-09-16 |
| 申请公布号 | CN104917476A | 申请公布日 | 2015-09-16 |
| 分类号 | H03H3/02(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 杨清华;欧毅;刘杰;赖亚明;吴光胜;陈庆;朱丽娜 | 申请（专利权）人 | 贵州汉天下科技（集团）有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 贵州中科汉天下电子有限公司 |
| 地址 | 556000 贵州省黔东南苗族侗族自治州凯里市经济开发区甘塘路2号中盛茗园B栋3单元4层402号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种声波谐振器的制造方法，该制造方法包括：提供基底；在所述基底的表面形成声反射层或者在所述基底上形成声反射层，其中，该声反射层的材料是多孔性材料；在所述声反射层上形成下电极层；在所述下电极层上形成压电层；在所述压电层上形成上电极层。本发明通过形成由多孔性材料所构成的声反射层，在保证声波谐振器具有良好性能的同时有效地改善了声波谐振器的制造工艺、简化了声波谐振器的结构、降低了声波谐振器的制造成本以及大大地提高了声波谐振器的成品率。 |
