一种带自补偿功能的射频匹配箱
基本信息
| 申请号 | CN201810442376.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108617073A | 公开（公告）日 | 2018-10-02 |
| 申请公布号 | CN108617073A | 申请公布日 | 2018-10-02 |
| 分类号 | H05H1/46 | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 甄德海;杜晨;赵志明;孙福勋;余学斌 | 申请（专利权）人 | 武汉市福志成科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨立;李蕾 |
| 地址 | 430000 湖北省武汉市东湖新技术区汤逊湖北路长城创新科技园1号楼A302 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种具有自补偿功能的射频匹配箱，包括：位于壳体内的平板电容，其包括：金属间隔座，以及水平放置且从下往上依次间隔排列的低压电容调节片、高压电容固定片和高压电容调节片；高压电容固定片的一端与壳体绝缘固定连接，另一端与电感耦合等离子线圈电连接；低压电容调节片的一端和高压电容调节片的一端分别与竖直绝缘设置于壳体底板的金属间隔座活动连接，金属间隔座还与检测器电连接；低压电容调节片的另一端和高压电容调节片的另一端在控制器的控制下上下移动。本发明采用平板电容，在结构上就取消了高压和低压两个电容之间的连线，低压电容调节片的上下移动，实现硬件自补偿，且内部能量分布均匀，无需风扇，能耗小。 |
