一种CVD用陶瓷块可拆卸式遮挡框架
基本信息
| 申请号 | CN202022395290.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213507188U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213507188U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 冯卫东;蔡广云;刘永基;余波 | 申请（专利权）人 | 合肥微睿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥超通知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 饶晓玲 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区九顶山路以东、珠城路以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种CVD用陶瓷块可拆卸式遮挡框架，包括有遮挡框架本体、基座本体和间隙，遮挡框架本体在朝向间隙的表面设有凹槽，其内分别设置有陶瓷块和L形锁紧块，L形锁紧块的二个内侧面分别对应贴靠在陶瓷块的相邻二个外侧面上，遮挡框架本体的外侧面上设有向内延伸且与凹槽相通的若干个横向螺孔，并分别螺合有螺栓；拧紧每个螺孔内的螺栓，螺栓的前端顶压L形锁紧块的一个外侧面，将陶瓷块锁紧在凹槽中。本实用新型在维修时拆除陶瓷块，使得包括凹槽所在区域的遮挡框架本体能够同步被打磨、腐蚀，在重新安装陶瓷块后，能够保持间隙的高度不发生变化，不影响遮挡框架与基座的正常装配，能够抑制尖端放电现象的产生。 |
