一种上部电极表面研磨用定位工装
基本信息
| 申请号 | CN202023280609.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214080876U | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN214080876U | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | B24B37/34（2012.01）I;B24B55/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 蔡广云;王超群;冯卫东;刘培培 | 申请（专利权）人 | 合肥微睿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥超通知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 饶晓玲 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区九顶山路以东、珠城路以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种上部电极表面研磨用定位工装，包括有上部电极本体、内、外环形接触部位、第一内、外定位块和第二内、外定位块，第一内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相对应，且第一内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相重合的第一定位狭缝；第二内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的拐角位置相对应，且第二内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的拐角位置相重合的第二定位狭缝。本实用新型结构简单，实现了对内、外环形接触部位的准确定位，能够准确的确定研磨范围和位置，杜绝了不良品的产生，提高了加工效率，缩短了工时，满足了使用端客户的周期需求。 |
