一种适用于对上部电极和扩散器进行表面处理的升降装置
基本信息
| 申请号 | CN202022370347.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213498489U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213498489U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | B24B37/00（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B47/20（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 刘晓刚;刘超;许杰 | 申请（专利权）人 | 合肥微睿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥超通知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 饶晓玲 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区九顶山路以东、珠城路以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种适用于对上部电极和扩散器进行表面处理的升降装置，包括有处理池、分别设置于处理池池口两侧的支架、横杆以及上部挂装在横杆上、下部垂入处理池内的工件，支架的底部安装有呈竖向设置的气缸，气缸的活塞杆的端部固定连接有顶杆，顶杆的顶端固定连接有定位座，定位座上设有定位槽，支架的顶部分别安装有对顶杆进行导向的第一导向机构和对定位座进行导向的第二导向机构。本实用新型使得工件在进行表面处理的过程中保持合理的上下运动，能够及时排出气泡，提高了处理效果；并使得反应物能够快速的从工件的表面剥离，保证了处理的彻底性，同时也保证了反应的均匀性和适度性，从而保证了工件的使用寿命。 |
