一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构
基本信息
| 申请号 | CN202023280625.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214146218U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214146218U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | F16B41/00（2006.01）I;F16B37/14（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 冯卫东;蔡广云;王超群;刘永基 | 申请（专利权）人 | 合肥微睿科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥超通知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 饶晓玲 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区九顶山路以东、珠城路以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构，包括有扩散器框架本体，沿扩散器框架本体的上表面的四周设有环形开槽，扩散器框架本体上分别设有贯穿其底面与环形开槽的底面的若干个螺孔，若干个螺孔内分别螺合有用于连接扩散器框架本体与扩散器的螺栓；环形开槽内分别插装有若干个挡条，若干个挡条的底面分别对应与螺栓的顶端相抵触，压紧并遮蔽螺栓。本实用新型结构简单，在扩散器框架上设置环形开槽，采用螺栓将扩散器框架与扩散器连接完成后，将若干个挡条插装到环形开槽内，压紧螺栓并将其完全遮蔽，使其不会暴露在CVD基板沉积腔室中，避免了螺栓发生脱落和螺栓的端部发生电弧击穿，从而保证了CVD设备的正常运行。 |
