制造多色发光像素单元的方法
基本信息
申请号 | CN202080063264.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114730815A | 公开(公告)日 | 2022-07-08 |
申请公布号 | CN114730815A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
分类号 | H01L33/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | Q·李;Q·徐 | 申请(专利权)人 | 上海显耀显示科技有限公司 |
代理机构 | 北京坤瑞律师事务所 | 代理人 | - |
地址 | 200120上海市浦东新区鸿音路1889号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种用于制造多色发光像素单元的方法,包括:在基板上形成堆叠结构,所述堆叠结构按从下至上的顺序包括第一金属层、第一类型的发光层、第二金属层和第二类型的发光层;对所述第二类型的发光层和所述第二金属层进行图案化,直到暴露所述第一类型的发光层的一部分为止;以及选择性地刻蚀所述堆叠结构以形成第一发光晶体管和第二发光晶体管,所述第一发光晶体管包括所述第一金属层和所述第一类型的发光层,并且所述第二发光晶体管包括所述第一金属层、所述第一类型的发光层、所述第二金属层和所述第二类型的发光层。 |
