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晶圆上一开关元器件的电气特性测试装置

基本信息

申请号 CN202121413503.3 申请日 -
公开（公告）号 CN215415735U 公开（公告）日 2022-01-04
申请公布号 CN215415735U 申请公布日 2022-01-04
分类号 G01R31/26（2014.01）I 分类 测量；测试;
发明人 林氦;邓志江;盛况;郭清 申请（专利权）人 绍兴市科技创业投资有限公司
代理机构 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 杨舟涛
地址 312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号4幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及晶圆上一开关元器件的电气特性测试装置结构，涉及晶圆级测试技术，通过控制使得与待测开关元器件并联的一开关元器件导通，则该导通的开关元器件的第一电极与第二电极电连通，则待测开关元器件的第一电极与该导通的开关元器件的第二电极电连通，第二探针接触该导通的开关元器件的第二电极相当于接触待测开关元器件的第一电极，同时第一探针接触待测开关元器件的第二电极，如此可通过第一探针和第二探针测试待测开关元器件的电气特性，因第一探针和第二探针为分别与待测开关元器件和该导通的开关元器件的第二电极对应的探针，因此缩短了待测开关元器件的电气特性测试路径，大大减小了寄生电感，且无需改变测试装置的结构。