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高效超精密力流变抛光方法

基本信息

申请号 CN202111098365.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113787383A 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN113787383A 申请公布日 2021-12-14
分类号 B24B1/00;B24B31/112;C09G1/02 分类 磨削；抛光;
发明人 袁巨龙;吕冰海;王佳焕 申请（专利权）人 杭州智谷精工有限公司
代理机构 北京中济纬天专利代理有限公司 代理人 陈振华
地址 311100 浙江省杭州市余杭区余杭街道文一西路1818-2号5幢301室
法律状态 -

摘要

摘要 高效超精密力流变抛光方法，抛光时，工件与力流变抛光液做相对运动；所述力流变抛光液在剪切力作用下具有非线性流变特性，成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相；所述吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”；抛光过程中：所述缓释相均匀释放化学试剂维持抛光液中化学试剂浓度的稳定，化学试剂与工件反应在工件表面生成反应膜；在工件与抛光液相对运动产生的剪切力作用下，抛光液与工件接触界面形成贴合工件面形的流变层，流变层中的固相粒子发生团聚，并将“磨粒球”包裹后形成粒子团，粒子团与工件相对运动实现所述反应膜的去除；所述热稳定相吸收抛光过程产生的热量，维持抛光液温度和黏度的稳定。