一种基于SPW的在线型微腔光纤传感器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202110734829.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113466178A 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN113466178A 申请公布日 2021-10-01
分类号 G01N21/45(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘伟平;叶晓平;董俊伟;徐荣进;邓启航 申请(专利权)人 南京品傲光电科技有限公司
代理机构 南京聚匠知识产权代理有限公司 代理人 吴亚东
地址 211800江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨路320号科创广场七号楼五楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于SPW的在线型微腔光纤传感器及其制作方法,包括光源、第一段传输光纤、偏振控制器、D型微腔结构、第二段传输光纤和光探测器,所述D型微腔结构内设置有一半光纤被抛磨掉的D型光纤,所述D型光纤的平坦抛磨区表面沉积有一层金属薄膜,所述光源与所述第一段传输光纤的输入端连接,所述光探测器与所述第二段传输光纤的输出端连接。通过在D型光纤的平坦抛磨区表面沉积一层金属薄膜,通过端面激励的方式在金属薄膜内激发出SPW,从而将SPW和MZI相结合,实现高灵敏度和微型化的高性能光纤传感器。