一种基于SPW的在线型微腔光纤传感器及其制作方法
基本信息
申请号 | CN202110734829.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113466178A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113466178A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | G01N21/45(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘伟平;叶晓平;董俊伟;徐荣进;邓启航 | 申请(专利权)人 | 南京品傲光电科技有限公司 |
代理机构 | 南京聚匠知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴亚东 |
地址 | 211800江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨路320号科创广场七号楼五楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种基于SPW的在线型微腔光纤传感器及其制作方法,包括光源、第一段传输光纤、偏振控制器、D型微腔结构、第二段传输光纤和光探测器,所述D型微腔结构内设置有一半光纤被抛磨掉的D型光纤,所述D型光纤的平坦抛磨区表面沉积有一层金属薄膜,所述光源与所述第一段传输光纤的输入端连接,所述光探测器与所述第二段传输光纤的输出端连接。通过在D型光纤的平坦抛磨区表面沉积一层金属薄膜,通过端面激励的方式在金属薄膜内激发出SPW,从而将SPW和MZI相结合,实现高灵敏度和微型化的高性能光纤传感器。 |
