一种基于石墨基底的复合涂层及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011264714.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112501584A | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN112501584A | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴建;戴煜;易君 | 申请（专利权）人 | 湖南中科顶立技术创新研究院有限公司 |
| 代理机构 | 长沙智路知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曲超 |
| 地址 | 330031江西省南昌市红谷滩新区学府大道999号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种基于石墨基底的复合涂层及其制备方法，该复合涂层包括沉积在所述石墨基底上的TaC‑C过渡层和沉积在所述过渡层外层的纯TaC外涂层，所述过渡层厚度为5‑50μm，所述外涂层厚度为10‑300μm；其制备方法为：采用化学气相沉积法，通过调节TaCl5和碳源气体进入气相沉积炉中的摩尔比，先在石墨基底表面沉积TaC‑C过渡涂层，然后在TaC‑C过渡涂层上沉积纯TaC外涂层，通过过渡层形成梯度涂层，减少石墨基底与纯TaC外涂层之间的热应力和热膨胀系数失配，提高外涂层与石墨基底的结合强度，从而提高外涂层的抗热震性能。 |
