一种穆勒矩阵测量装置

基本信息

申请号 CN202111260156.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114018831A 公开(公告)日 2022-02-08
申请公布号 CN114018831A 申请公布日 2022-02-08
分类号 G01N21/21(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 李泓毅;麦浩基;杨尚潘;刘碧旺;高墨涵;崔玮婷;黄鸿衡;吴南寿;曾亚光;钟俊平;韩定安 申请(专利权)人 佛山市灵觉科技有限公司
代理机构 广州新诺专利商标事务所有限公司 代理人 梁伟
地址 528225广东省佛山市南海区狮山镇仙溪水库西路佛山科学技术学院
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种穆勒矩阵测量装置,包括:光源、第一分光器、第二分光器、第一检偏器、接收光路、第二检偏器,光源产生多个不同偏振态的入射偏振光,经第一分光器分成两路入射偏振光;其中一路入射偏振光进入第一检偏器进行实时检偏;另一路入射偏振光经入射光路投射在样品上;接收光路接收样品被照射后所散射的出射光后传输至第二检偏器进行实时检偏;其中,光源包括多个用于分别产生不同偏振态的入射偏振光的发光组件、用于控制多个发光组件开关的控制器以及将多个发光组件发出的入射偏振光投射到第一分光器上的投射组件。本发明能够快速连续地转换入射偏振光的偏振态,满足对快速变化的样品进行穆勒矩阵测量。