一种光刻机用上版夹具
基本信息
| 申请号 | CN201821666150.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208888580U | 公开（公告）日 | 2019-05-21 |
| 申请公布号 | CN208888580U | 申请公布日 | 2019-05-21 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 吴建栋; 周伟旭 | 申请（专利权）人 | 福建汉晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州京诺知识产权代理有限公司 | 代理人 | 福建汉晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 363300 福建省漳州市云霄县云陵工业开发区马山大道 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机用上版夹具，包括固定架、活塞杆、抽气筒、滑杆、吸盘、支撑座、齿条、滑槽、固定螺栓、滑块、转杆、轴杆、齿轮、链条、抽气管、排气阀、第一链轮、第二链轮和导气管。该种光刻机用上版夹具通过设置吸盘、抽气筒、抽气管以及排气阀之间的相互配合，可以更好的对硅片进行固定，同时也避免了传统固定过于过硬对硅片造成损伤，极大的提高了硅片的使用寿命，同时也更好的便于光刻机后期对硅片的曝光；通过设置齿轮、转杆、链轮、滑杆以及滑块之间的相互配合，可以更好的对夹具的尺寸的调节，可以更好的对不同大小的硅片进行固定，从而极大的降低了成本，提高了生产率，同时也增强了实用性。 |
