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一种激光振镜重复定位精度的测量方法

基本信息

申请号 CN201810134882.9 申请日 -
公开（公告）号 CN108387176B 公开（公告）日 2020-04-28
申请公布号 CN108387176B 申请公布日 2020-04-28
分类号 G01B11/00 分类 测量；测试;
发明人 邓智芳 申请（专利权）人 武汉网锐检测科技有限公司
代理机构 武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 张凯
地址 430000 湖北省武汉市江夏区藏龙岛开发区谭湖路二号1号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种激光振镜重复定位精度的测量方法，涉及激光测量领域，包括步骤：单正弦线激光发生器向激光振镜投射正弦分布的线激光；激光振镜将线激光反射到参考平面上，计算机控制振镜从最小角度到最大角度扫描一次，扫描间隔根据6步相移法计算出的步距来决定，相机采用慢曝光模式，振镜完成一次完整的扫描后相机也完成一幅图像的获取，通过计算机控制振镜，使扫描的起始位置相位依次增加60°，扫描6次，获取到6幅条纹图像，根据每幅图像中某像素点的光强分布则可以计算出该点的包裹相位，对包裹相位进行展开即得到该像素点的展开相位，重复测量若干次得到多幅该像素点的展开相位图，对其进行统计方差计算，即得到振镜的重复定位精度。