真空镀膜腔室和真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202122489769.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216006008U | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN216006008U | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/50（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 左国军;梁建军;朱海剑;杨虎 | 申请（专利权）人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 北京友联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址 | 213133江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种真空镀膜腔室和一种真空镀膜设备，其中，真空镀膜腔室，包括：腔体；至少两个子载板，位于腔体内，子载板用于承载工件，至少两个子载板并排排列，相邻的子载板之间具有空隙。通过在真空镀膜腔室中设置至少两个子载板，并通过子载板对工件进行运输，一方面避免了通过一个整体载板运输而产生的载板过大的问题，减小了子载板的尺寸，提高了子载板的强度，另一方面一块子载板可同时运输多个工件，提高了运输效率，减少了用于移动子载板的钩取件的数量，简化了真空镀膜腔室的结构。 |
