一种用于PECVD工艺的电池片托盘
基本信息
申请号 | CN202123287384.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216944058U | 公开(公告)日 | 2022-07-12 |
申请公布号 | CN216944058U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
分类号 | B65D19/44(2006.01)I;B65D19/38(2006.01)I;B65D85/88(2006.01)I | 分类 | 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料; |
发明人 | 左国军;芦伟;沈晨鑫 | 申请(专利权)人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 213000江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于PECVD工艺的电池片托盘,其具有平板状的托盘本体(1),托盘本体顶面设有多个矩形的凹陷的电池片放置槽(2),所述电池片放置槽的四个侧壁皆采用两级台阶结构,其中部的台阶围拢成一个框状的电池片支撑台阶(3),电池片(5)放在该电池片支撑台阶上进行PECVD工艺,所述电池片支撑台阶(3)上设有多个气道(4),所述气道沟通电池片上表面空间和下表面空间;本实用新型可防止冷却腔内N2回填时电池片翘曲变形,使电池片上表面的空间与电池片下表面的密闭空间尽快实现压强平衡,防止电池片变形后与托盘凹槽底面接触产生污染,从而影响电池片发电效率。 |
