一种扫片装置和晶圆清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202123358505.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216561830U | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN216561830U | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | G06M7/08（2006.01）I;G06M1/27（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 左国军;柯国英;付正超;鞠璐平;何其斌 | 申请（专利权）人 | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 213000江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扫片装置和晶圆清洗设备，涉及计数装置技术领域。扫片装置具体包括用于计数的计数传感器、驱动所述计数传感器沿着待检物料堆叠方向运动的驱动组件、用于检测计数传感器运动位置的位置检测组件、以及根据所述位置检测组件的检测结果控制所述计数传感器计数的控制模块。实现扫片装置在一次移动中完成对多个晶圆盒中晶圆数量的统计，提高扫片效率。 |
