无线无源SiCN陶瓷基谐振腔式振动传感器及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410840230.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104483013B | 公开（公告）日 | 2017-08-04 |
| 申请公布号 | CN104483013B | 申请公布日 | 2017-08-04 |
| 分类号 | G01H11/06(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 余煜玺;李燕;伞海生 | 申请（专利权）人 | 中科润资科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 厦门南强之路专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 马应森 |
| 地址 | 361005 福建省厦门市思明南路422号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 无线无源SiCN陶瓷基谐振腔式振动传感器及制备方法，涉及振动传感器。所述振动传感器设有圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件、开槽天线和用于感受振动的质量块，所述圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件表面包裹耐高温金属层并形成谐振腔，开槽天线设在谐振器上表面，质量块安装在谐振腔上。先制备圆柱形非晶态SiCN陶瓷压介元件，在非晶态SiCN陶瓷压介元件上表面对应耦合激励端口处，用聚酰亚胺胶带保护后，再在非晶态SiCN陶瓷压介元件表面电镀上金属层而形成谐振腔，然后再去除聚酰亚胺胶带，即得到上表面带有耦合激励端口的谐振腔；在谐振器的上表面中心处放置用于感受振动的质量块，质量块与谐振腔之间进行粘结。 |
