工件架旋转系统以及真空镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202022734930.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214032679U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214032679U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李刘合;毛迎东;孙玉强;寇淑文 | 申请（专利权）人 | 北航歌尔（潍坊）智能机器人有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 梁馨怡 |
| 地址 | 261000山东省潍坊市潍坊高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1006房间-02号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、公转盘、自转盘、传动结构、制动结构和驱动结构，所述自转盘设有自转轴且绕着所述自转轴转动安装于所述公转盘上，以能够随同所述公转盘转动，传动结构包括传动轴和齿轮传动机构，所述传动轴和所述公转轴相互套接且转动设置，所述齿轮传动机构包括大齿轮和小齿轮，所述制动结构能够选择性地限制所述传动轴或所述公转轴转动，所述驱动结构能够选择性地驱动所述传动轴和/或所述公转轴，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程，以解决现有技术的缺陷。 |
